ALN顆粒

窒化アルミ顆粒は窒化アルミ粉末からスプレー造粒され、粘着剤及び焼結助剤を含み、直接プレス成形できる。厦門科技钜瓷の窒化アルミ顆粒は良好な流動性、優れた焼結性、および高純度、高強度の特徴を持って、窒化アルミヒータ/静電吸盤/エッチング保護カバー/ホットプレス窒化アルミセラミックスなどの各種半導体デバイス部品を作製するために用いられる。

連絡先

製品の特徴

高純度

High Purity

直接プレス成形可能

Ready for press

高強度

High strength

優れた焼結性

High sintering activity

高い流動性

High fluidity

技術パラメータ

项目Item		GS-80
平均粒徑 Mean particle size (μm)		70~120
Y2O3 (WT%)		5
嵩密度Bulk density (g/cm3)		0.8~1.0
流動性 Fluidity (s/50g)		80~100
不純物Impurity	Ca (ppm)	＜500
	Si (ppm)	<100
	Fe (ppm)	<30

焼結プロセス

焼結温度1830 ~ 1900℃、保温時間3 ~ 5 hrs、流動窒素、0.1 MPa

脱脂プロセス

200℃前3℃/min、400℃前2℃/min、500℃前5℃/min、2時間保温する。

製品の用途

プレス成形セラミックス原料:

ヒーター/静電吸盤/エッチングシールド/ホットプレスセラミック