氮化铝造粒粉

氮化铝造粒粉由微米粉喷雾造粒而成,含有粘结剂及烧结助剂,可直接压制成形。钜瓷科技的氮化铝造粒粉具有良好的流动性、高烧结活性,以及高纯度、高强度的特点,可用于制作氮化铝加热器/静电吸盘/刻蚀防护罩/热压氮化铝陶瓷等各种半导体设备部件。

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产品特性

高纯度

High Purity

1

即时压制

Ready for press

2

高强度

High strength

3

高烧结活性

High sintering activity

4

良好流动性

High fluidity

5

技术参数


项目Item

GS-80

平均粒径 Mean particle size (μm) 

70~120

Y2O3 (WT%)

5

松装密度 Bulk density (g/cm3)

0.8~1.0

流动性 Fluidity (s/50g)

80~100

杂质含量
Impurity

Ca (ppm)

500

Si (ppm)

<100

Fe (ppm)

<30

烧结工艺


烧结温度1830~1900℃,保温时间3~5 hrs,流动氮气,0.1MPa

脱脂工艺


200℃前3℃/ min ,400℃前2℃/ min,500℃前5℃/ min ,保温2小时。


产品应用

压制陶瓷原料:加热器/静电吸盘/刻蚀防护罩/热压氮化铝陶瓷


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