氮化铝造粒粉

氮化铝造粒粉

氮化铝造粒粉由微米粉喷雾造粒而成，含有粘结剂及烧结助剂，可直接压制成形。钜瓷科技的氮化铝造粒粉具有良好的流动性、高烧结活性，以及高纯度、高强度的特点，可用于制作氮化铝加热器/静电吸盘/刻蚀防护罩/热压氮化铝陶瓷等各种半导体设备部件。

产品特性

高纯度

High Purity

1

即时压制

Ready for press

2

高强度

High strength

3

高烧结活性

High sintering activity

4

良好流动性

High fluidity

5

技术参数

项目Item		GS-80
平均粒径 Mean particle size (μm)		70~120
Y2O3 (WT%)		5
松装密度 Bulk density (g/cm3)		0.8~1.0
流动性 Fluidity (s/50g)		80~100
杂质含量 Impurity	Ca (ppm)	＜500
	Si (ppm)	<100
	Fe (ppm)	<30

烧结工艺

烧结温度1830~1900℃，保温时间3~5 hrs,流动氮气，0.1MPa

脱脂工艺

200℃前3℃/ min ，400℃前2℃/ min，500℃前5℃/ min ，保温2小时。

产品应用

压制陶瓷原料：加热器/静电吸盘/刻蚀防护罩/热压氮化铝陶瓷

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